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SD大粒徑硅溶膠
外觀:乳白色
適用范圍:
1.拋光:用于制備CMP拋光液,用于硅單晶片、砷化鎵片、藍(lán)寶石晶片、半導(dǎo)體化合物晶片、硬盤盤片、寶石、液晶玻璃、鏡頭、金屬表面等產(chǎn)品的拋光。
2.催化劑載體、數(shù)碼印刷等
SD大粒徑硅溶膠指標(biāo)
SiO2% | Na2O% | 比重(25℃) | PH值 (25℃) | 粘度(25℃,mm2/s) | 平均粒徑(nm) | 穩(wěn)定期 |
10-50 | ≤0.5 | 1.06-1.39 | 9.0-10.5 | ≤20 | 30-100 | ≥1年 |
用于拋光液的使用方法
建議用去離子水將濃度稀釋至10-20%,也可根據(jù)實(shí)際工藝要求改變配比,若要調(diào)節(jié)PH值,可以用10%HCl,3%NaOH,5%KOH或者10%氨水在充分?jǐn)嚢柘侣稳搿?/p>